特气管道系统不锈钢管径的计算特气管道系统管径的选择是基于气体的大小流量，气体压力值对计算的巨大影响不可忽视。此外，管道中氧气的流速较低，可选择8m/s。在芯片工厂的设计中，工艺设备的气体消耗通常有两个值，一个是峰值，另一个是平均值，对于不同的设备，峰值与平均值之间的差异是完全不同的。那么计算管道直径的基准是什么流量？沃飞这里的技术提供了一些自己的设计经验供参考:首先，芯片厂工艺设备的运行模式是间歇性的。在某一设备的运行过程中，当气体消耗达到峰值时，会有一段短暂的时间，然后气体消耗会下降甚至为零，导致峰值与平均值相差很大，甚至出现几何级数的差异。对于主管道，所有工艺设备峰值之和流量可乘以系数(一般为0.7-0.8)作为流量值，因此计算出的管径基本满足供气需求。由于FAB中的所有工艺设备不可能同时达到气体消耗的峰值，因此没有必要使用总峰值流量作为计算基础。管径过大只会浪费钱。对于支管甚至支管，需要根据实际情况进行具体分析。如果支管中有更多的气点，可以使用主要的处理方法。如果用气点不多甚至只有一个，用用气点的总峰值流量计算更可靠。