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车间洁净气体管道安装注意事项

车间洁净气体管道安装注意事项

发布时间:2020-03-26
车间洁净气体管道安装注意事项车间洁净气体管道是气源配置的一项非常成熟的技术,已经被广泛应用于半导体等行业的生产和科研,但您知道这些气体的质量要求都非常高吗?想满足生产或科研用的高质量气体要满足两个硬件要求,一是气体本身的纯度质量要高,二是沃飞气体输送系统的管路和配件的光洁度要高。如果在安装过程中造成气路的二次污染就会导致气体的质量下降,严重的话会导致生产设备和科研设备的严重损坏,所以在气路安装时要注意以下几个事项,避免管路的二次污染。下面由我们沃飞科技的技术人员给您讲解一下气路安装需要注意的事项。1、所有不锈钢管道两端用塑料盖密封,在进入施工现场后,安装前,方可除去塑料盖,为保证焊接的效果,自动焊时毕须在焊接管中吹Ar气。2、在管道铺设时,应注意平直,弯管处采用专用弯管器,不得徒手弯曲,切断管道时,用专用切管器操作,严禁用锯子锯断管道。管道切断后,应用专用工具处理端口,严禁用普通锉刀处理。3、在管道的行进路线中,每隔1.2-1.5米应设置一组管夹,如果特殊建筑物结构,应酌情考虑。4 、管道穿墙及穿地板时,应设置套管,套管与管道之间的空隙,应采用不可燃的材料填充。5、所有螺纹连接处应采用密封带密封。6、所有调节固定面板、所有出口点固定架(或固定面板)及所有管道上,都应贴设标有对应气体的成分及浓度的气体标头。7、所有系统部件安装完毕后,应用高纯氮气进行三遍以上的大流量吹扫。8、 吹扫完毕后,用高纯氮气进行检漏保压测试,测试压力应为工作压力的1.2-1.5倍。9、整个施工过程中,应注意施工安全,特别是空中作业时(在梯子或脚手架上施工),应有专人固定梯子或脚手架。在土建尚未完工的工地施工时,必须佩带安全帽,穿安全鞋。
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