随着半导体行业的蓬勃发展，对其配套项目也提出了更高要求。特种气体供应没有形成有效的系统，钢瓶凌乱，管理混乱，不相容气体混放等问题比较严重，极大的影响到用气安全。那么特气管道工程中气体废气如何处理?今天由深圳沃飞科技有限公司的工作人员为大家介绍：特种气体废气处理方式特种气体对身体健康以及环境都会产生很大的危害，如何处理特气废气，用什么设备处理，这里将会进行深入介绍。特种气体废气现状尾气作为特气系统的衍生物不可避免的存在。过去，在很多高校，由于实验室用气量不大，建设单位的业主没有充分意识到尾气的排放问题，随着更多半导体工厂雨后春笋的涌现，生产用特气废气的排放越来越多的引起了重视。那么怎么排放，如何排放成为摆在很多用户面前的问题。特气系统废气排放处理装置的处理方式：尾气处理装置的类型，应根据所处理的排气中特种气体的特性进行选择，不相容特种气体应分别设置废气处理装置;尾气处理装置应靠近GR、GC等特种气体设备布置;特种气体废气处理方法宜采用干式处理吸附、湿式洗涤、加热分解处理、燃烧处理、等离子分解处理、稀释处理及以上几种方式的组合。