光电行业中特种气体管道工程的要求。在光电行业中，特种气体管道工程的要求极为严格，需从材料选择、施工规范、洁净度控制、安全防护等多个方面进行全面把控，以下是详细介绍：一、材料选择管道材料：应采用内壁电解抛光的超低碳不锈钢管（如SUS316LEP），表面粗糙度Ra≤10μin，以减少微粒吸附和释放。对于制作管道的母材，普通的单真空熔化不锈钢无法满足高纯气体的要求，应采用更先进的双真空熔化不锈钢，以减少不纯杂质和凹坑数量，降低污染潜在性，提高可焊接性。阀门材料：阀门应选用波纹管阀或隔膜阀，因这两种阀门漏气量少，尤其隔膜阀的阀体死空间小，易吹除。阀座的密封面材料应选用耐渗透、耐磨损的材料，如3M的kel-F或杜邦的Teflon，但需注意阀门频繁动作可能会使密封面产生微小粒子。连接件材料：在必须拆卸的地方，应采用可靠性高的金属密封垫-端面密封方式（VCR）连接，其余部分采用全自动脉冲氩弧焊轨道焊机进行焊接连接，以确保连接处的密封性和洁净度。二、施工规范施工资质：承担特种气体管道施工的单位应取得相应的施工资质，包括工程建设施工资质、压力管道安装许可资质等，并在资质许可范围内从事管道施工。施工方案：施工前应编制专项施工方案，并经业主审批后实施。方案应包括施工流程、技术措施、安全措施等内容，以确保施工过程的规范性和安全性。管道敷设：管道应平直敷设，避免弯曲和折叠，以减少气体流动的阻力。主干管应敷设在技术夹层或技术夹道内，与水电管线共架时，应根据气体密度合理设置管道位置。管道支撑：采用稳定、可靠的支撑方式，如管夹、支架等，确保管道在支撑处的稳定性和安全性。支撑件应采用机械切割，不得气割，切割后的端头应倒角并涂环氧漆后加盖塑料封头。焊接要求：不锈钢管道应采用自动轨道氩弧焊机焊接，高纯氩气保护，不添加焊丝。焊接前应绘制管道轴侧图，标明管道的长度和焊口的详细位置，并尽量顺着气流的方向进行安装。焊接过程中及焊接前后，应用高纯氮气充分置换管内的氧气或水分，以防止焊接部位形成氧化膜，变成微粒发生源。管道切割与倒角：管子在切割过程中应防止变形或划出痕迹，切割时应使用不锈钢管切管器或洁净专用切割机，并不得使用润滑油。切割完后，应用专用刮削工具将端口刮削至平整、光滑，并用专用倒角器去除管口内外毛刺。管道吹扫与置换：管道施工过程中难免会有微粒进入管道系统内，因此管路系统的吹扫是一个必不可少的过程。高纯气体管道应用高纯氮气进行吹扫，先吹主干管，其次吹支干管，最后吹扫各支管。非氮气管道则需用氮气吹扫合格后进行置换，然后再次吹扫，直至置换后的气体达到纯度要求为止。三、洁净度控制临时净化间：为了防止微粒污染，管道的所有预组装加工应在临时净化间内进行。临时净化间的洁净度应优于或等于7级（0.5μm）。人员防护：工作人员应穿戴洁净服、洁净口罩、洁净无尘手套在洁净室内进行下料、预制等各项操作，不得用裸手接触管口及管道内壁。管道封堵：预制好的管道附件的两端必须用洁净的塑料盖子连同塑料薄膜一起封好，并用洁净的胶带扎紧，以减少大气对管道的污染。颗粒物检测：根据气体工艺要求应做各种测试，包括管道系统总体对外泄漏试验、总体对内泄漏试验、颗粒物、露点、含氧量测试等。对于高纯气体输送系统，颗粒物控制要求极为严格，已达到ppb、ppt级，尘埃粒径要求控制小于0.1μm的微粒。四、安全防护防爆措施：可燃性气体区要特别规划防爆墙与泄漏口。可燃性、毒性特种气体管道不得穿过不使用此类气体的房间，当必须穿过时应设套管或双层管。特种气体管道严禁穿过生活区和办公区。静电导出：可燃性、氧化性特种气体管道应设置导出静电的接地设施，以防止静电积累引发安全事故。机械连接处防护：可燃性、毒性、腐蚀性气体管道的机械连接处应置于排风罩内，以及时排除可能泄漏的气体，保障人员安全。