特种气体是光电子、微电子等领域，特别是超大规模集成电路、液晶显示器件、非晶硅薄膜太阳能电池、半导体发光器件和半导体材料制造过程不可缺少的基础性支撑源材料。它的纯度和洁净度直接影响到光电子、微电子元器件的质量、集成度、特定技术指标和成品率，并从根本上制约着电路和器件的精确性和准确性。沃飞科技提供太阳能光伏工厂所使用的高纯度气体(O2/Ar/N/H2/He等)、特气(SiH4/GeH4/PH3/AsH3/SbH3/B2H6/BF3/NF3/PF3/PF5/CF5/CF4/C2H6/C3F8等)综合供气系统;排气处理、监视系统的综合管理系统;建立以安全为第一的特气管理输送系统。从设计、选型、制造、安装、测试、调试和系统托管服务

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