特气柜主要应用于易燃易爆腐蚀有毒等危害性气体，特气柜的外壳上有一个抽风管，当发生小量气体泄露等危险情况时可将此类气体排出去避免气体扩散产生更大危险。

特气输送系统装置（特气柜）

1. 特气柜的功能设计

可分为单气瓶/ 双气瓶/ 三气瓶，气瓶柜内的钢瓶数设计可分为三种：分别为单钢瓶、双钢瓶、三钢瓶。

(1) 单钢瓶的特气柜设计通常使用于研究机构或实验室等特气使用点。工艺制程尚未有量产，气体使用量小，现场可随时协调停机进行钢瓶之更换，其优点节省空间、成本低、但需透过日常之管理与协调以免中断工艺制程造成损失。

(2) 双气瓶与三气瓶特气柜常用于量产工厂，工艺制程不允许停机情况，当一支钢瓶气体使用完后，另一支备用钢瓶会自动转为供气，此两种形式最大的差别是在purge管路的纯化氮气是以钢瓶或厂务端供应，当purge用的PN2统一由厂务端来供应时，所有特殊气体供应系统不管是否相容，全部连接到同一个供应源，会有较高的风险值;万一中央供应系统的PN2中断，警报系统又损坏，恰巧两种不相容的气体同时使用purge,此时极有可能发生爆炸的事件发生，相同性质可使用同一瓶钢瓶来purge增加的成本及空间非常有限，是一种非常好的应变方式。

(3) 三钢气柜成本不会差很多安全性会是最好的，只要空间允许应最优先选择。

2.操作性设计：

一般气瓶柜都设计有两个特殊气体钢瓶，需自动切换的功能以达到连续供应不断气的目的，气态气体通常以压力感应器来计算钢瓶的剩余量，若是液态蒸气压气体则以电子磅秤来侦测剩余量，当一瓶用完时会切换到另一瓶。

通常换钢瓶时会执行下列几种Purge:

(a)Pre-purge(换钢瓶前)

首先将钢瓶阀关闭，测试是否有关紧，用真空产生器将特殊气体抽出，再用PN2来稀释管壁内的特殊气体，重复执行充吹的动作将管壁内的特殊气体稀释干净，此时即可更换钢瓶。

(b)Post-purge(换钢瓶后)

通常以PN2来进行保压测试，测试钢瓶接头是否衔接良好，再利用PN2重复执行充吹的动作来将钢瓶接头清洁干净。

(c)Process purge(用特殊气体)

直接用特殊气体来Purge管壁，主要的目的是要将PN2完全的清除让供气的品质更好，不会因更换钢瓶而供应品质受到影响，这个使用否主要根据客户需求来。

(d)Hi pressure leak test(高压测漏)

通常高压燃烧性气体会建议使用高压测漏，因为经过高压测漏更能确保钢瓶接头衔接没问题。

一般钢瓶更换时机大约是剩余10%的残留量，但实际上应以工艺制程的需求来决定，这样才会得到最佳的更换时间。再者，钢瓶都有使用期限，操过使用期限因为部分特殊气体会对钢瓶造成为腐蚀，污染气源。