半导体工厂在制程过程会产生废气，超高纯电子特气系统的使用也会有特气残留，这些废气/尾气如果直接排放到空气中会造成污染，破坏环境，深圳沃飞科技设计并提供特气尾气处理设备从而成功解决这个问题。

吸附式尾气处理设备的工作原理：

制程过程产生的废气在风机压力下由入气口管道进入主吸附桶，废气中需要处理的气体组分在主吸附桶中被吸附剂吸附处理，吸附后的废气经变色球检验后从出气口排出，变色球的指示剂会随着氢键之浓度增加度的不同产生颜色的变化，通过的气体是中性气体，不变色，由出气口排出（PFCs不能用变色球辨别，因为它本身是中性气体）。

吸附式尾气处理设备的性能特点：

1. 以吸附桶完全处理设备尾气;

2. 没有明火、无尘室内不产生火源;

3. 节省能源、没有高耗能的需求;

4. 不需要耗用水资源，没有废水处理问题;

5. 确保尾气处理的安全性处理过程中没有危害；

6. 妥善处理废料，不影响地球环境。

吸附式尾气处理设备吸附材处理效率：

特气尾气处理设备的介绍就是上面这些了，特气是具有易燃易爆、剧毒、腐蚀性等危险性的特种气体，如果未经处理直接排放，是不被允许的，会对环境造成很大的污染。保护环境，从废气处理做起，从沃飞做起，从你我做起。