电子特气管道系统，简称特气系统由存储、输送、分配、控制四类组成，其中“存储”是指气源部分（特气柜GC），“输送”指配管方面（一般用双套管），“分配”指二次配部分（气体分配柜VMB），“控制”指监督控制部分（气体管理系统GMS）。是一种广泛应用于半导体、集成电路、光纤、太阳能电池等微电子行业的气路系统。

特种气体系统的GC特气柜/GR特气架的设置须符合下列规定:

1. 气瓶柜与气瓶架可采用单工艺气瓶外置吹扫气源、双工艺气瓶外置吹扫气源、双工艺气瓶内置吹扫气源等多种结构配置；

2. 不相容气体瓶不应放置于同一气瓶柜或气瓶架中；

3. 气瓶柜、气瓶架应设置作业用气体面板；

4. 系统的供应能力应经过热力学和流体力学计算核实；

5. 气瓶柜闭门时应保持不低于100Pa负压，柜内的排风换气次数不得低于300次/h；

6. 自燃性、易燃性、毒性、腐蚀性气瓶柜应在排风出口设置固定式气体泄漏探测器；

7. 气瓶柜柜体 外壳钢板厚度不应小于2.5mm， 并应有防腐蚀涂层；

8. 气瓶柜门应具备自动关闭功能， 并应配备防爆玻璃观察窗;气瓶柜的固定螺栓设计应满足当地地震设防烈度的要求；

9. 气瓶柜、气瓶架应设置清晰明确的安全标识牌；

10. 当气瓶柜放置在有爆炸和火灾危险环境时，其设计应符合现行国家标准《爆炸危险环境电力装置设计规范》GB50058的有关规定。

电子特气管道工程是一种危险性很高的工程，是保证有着易燃易爆、腐蚀、剧毒等性质的特种气体的安全稳定输送的气体供应系统，所以，为了用气安全，在安装特气系统时，要严格遵守其中的一些规定标准。

以上，便是关于特气系统中特气柜和特气架该如何设置的介绍，感谢您的阅读！