洁净工艺气体管道安装要求

1 洁净工艺气体管道安装一般规定：

1.1 有空气洁净度要求的区域，工艺管道的干管宜敷设在技术夹层、技术夹道中。需要拆洗、消毒的管道宜明敷。易燃、易爆、有毒物料管道也宜明敷，如敷设在技术夹层、技术夹道内，应采取相应的通风措施。

1.2在满足工艺要求的前提下，工艺管道应尽量缩短。

1.3干管系统应设置必要的吹扫口，放净口和取样口。

 
1.4输送纯水的干管应符合要求。

1.5与本洁净室无关的管道不宜穿越本洁净室。

2洁净工艺气体管道安装管道材料、阀门和附件： 

2.1管道材料应根据所输送物料的理化性质和使用工况选用。采用的材料应保证满足工艺要求，使用可靠，不吸附和不污染介质，施工和维护方便。

2.2工艺物料的干管不宜采用软性管道。不得采用铸铁、陶瓷、玻璃等脆性材料。当采用塑性差的材料时，应有加固和保护措施。

2.3引入洁净室的明管材料宜采用不锈钢。

2.4 输送纯水成品的管道材料宜采用低碳优质不锈钢或其它不污染物料料。

2.5 工艺管道上的阀门、管件的材料应与所在管道的材料相适应。

2.6 洁净室内采用的阀门、管件除满足工艺要求外，应采用拆卸、清洗、检修均方便的结构形式。

2.7 管道与设备宜采用金属管材连接，如需用软管时，应采用可靠的软性接管。

3 洁净工艺气体管道的安装、保温：

3.1 技术夹层、技术夹道中的干管连接宜采用焊接。

3.2 管道与阀门连接宜采用法兰、螺纹或其他密封性能优良的连接件。凡接触物料的法兰和螺纹的密封应采用聚四氟乙烯。

3.3 穿越洁净室墙、楼板、顶棚的管道应敷设套管，套管内的管段不应有焊缝、螺纹和法兰。管道与套管之间应有可靠的密封措施。 

3.4 洁净室内应少敷设管道，引入洁净室的支管宜暗敷。

3.5 洁净室内的管道应排列整齐，尽量减少阀门、管件管道支架。

3.6 洁净室内的管道应根据其表面温度，发热或吸热量及环境的温度和湿度确定保温形式。冷保温管道的外壁温度不得低于环境的露点温度。

3.7 管道保温层表面必须平整、光洁、不得有颗粒性物质脱落，并宜用金属外壳保护。

3.8 洁净室内的管道外壁均应有防锈措施。

3.9 洁净室内的各类管道均应设指明内容物及流向的标志。

4 洁净工艺气体管道使用安全：

4.1 易燃、易爆、有毒介质的排放管应设置相应的阻火、过滤装置。通向室外的管道应设防止空气倒灌装置。

4.2 输送易燃介质的管道应设置导除静电装置。

4.3 输送易燃、易爆介质不得用压缩空气作为动力，宜采用压缩的惰性气体或输送泵。

4.4 各种气瓶应集中设置在洁净厂房外。当日用气量不超过一瓶时，气瓶可设置在洁净室内。