通过对工业洁净厂房气体动力管道设计的研究，论述了在实际设计中，应注意工业洁净厂房管道的敷设、气体管道的材质以及各管道阀门之间安装的基本要求。为工程设计和实际施工安装提供了指导性的理论依据，解决了实际设计中遇到的各种技术问题和施工中遇到的一些问题。

工业洁净厂房的设计和建造主要是为要求高粉尘指数的行业如电子行业设计的工程项目。这些工厂对高纯度气体动力管道的基本要求是，该系统应具有防止气体在运输过程中被有害杂质污染和降低气体纯度的功能。在满足生产工艺的前提下，应尽可能保证管道的安全运行。在实际使用中，还应注意尽可能保持管道外壁的清洁，以便在检修时发现是否有气体泄漏。本文根据洁净厂房气体动力管道设计的基本要求，谈了一些个人体会。


一、洁净厂房气体动力管道敷设的基本要求


清洁车间铺设气体动力管道的一般要求和基本气体包括蒸汽、氧气、氮气、天然气、压缩空气和真空管道。清洁车间的基本要求和设计应围绕生产过程对空气洁净度要求高的原则进行。厂房内的气体动力管道一般属于气相色谱压力管道。气体动力管道的主管道一般布置在技术夹层和技术通道内。当布置可燃、助燃和窒息性气体时，管道敷设时应提供良好的通风设备。天然气管道的主管道应在工厂入口处配备一个入口总阀、压力表、真空计、过压切断、泄压管、计量装置、泄压装置和过滤器。


室内气体主管道的末端应直接与不小于DN20的管道相连，管道应延伸至走廊的末端或通向其他适当位置的一段下导管，以便将管道中的有害气体引至安全的地方排放。对于高纯气体管道，实际安装时应缩短长度，管径应根据气体消耗量确定。应特别注意的是，根据安全标准，高纯度气体管道不应有预留开口和“盲管”以及其他不容易爆裂的部分。在气体终端净化装置的入口和出口、关键工艺设备的入口以及需要取样的管段应设置适合取样的取样口。当气体管道或管道吊架的吊杆穿过厂房上方的顶棚时，管道和顶棚应用密封胶密封，可气体体和氧气管道的末端应设置松套管装置，可气体体支管应设置筒位水封，松套管应设置全天候阻火器。